簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "An-Chyau Huang".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="模糊滑動模式控制器"


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    長行程奈米定位系統之控制器設計
    • 機械工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 王世賢 指導教授: 黃緒哲
    • 近年來由於半導體加工產業及生化科技的迅速發展,次微米生產設備成為目前市場之主流。隨著各種產品尺寸微小化,加工精度的要求也跟著提昇至數十個奈米的精度等級。對超精密加工及相關的精密量測與微元件檢測技術而…
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